多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置
『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、
スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを
用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。
コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、
乾燥、焼成、冷却の各工程の詳細な条件設定並びに、工程の省略、
工程フローの変更、工程の保存が任意に出来るプログラムとなっております。
【特長】
■スピンコーティング、乾燥、焼成をCPUシステムにより、任意に変更可能
■各工程は、手動、自動、両操作が出来る
■基板形状は丸、角、両方出来る
■スピンコータに液だれ防止が工夫されている
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基本情報積層薄膜作製装置
【仕様】
■基板サイズ：最大3インチ（2インチ、20mm角はチャック部アタッチメントで対応）
■スピンコータ回転数：0 ～ 5000rpm（±1rpm）
■焼結温度：～800℃（均熱領域50mm）
■基板冷却：乾燥窒素吹付け
■ロボット停止精度：±50μm
■ディスペンサー：エアーパルス方式、滴下量0.05ml以上
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