積水化学工業株式会社 大気圧リモートプラズマ装置『RT』
- 最終更新日:2020-06-10 16:54:23.0
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低温処理&電界遮蔽構造でダメージレス!LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています
『RT』は、低温処理&電界遮蔽構造の大気圧リモートプラズマ装置です。
高速(10m/min)処理で10°以下を達成(LCD向けガラス基板の処理)。
160~3400mm巾まで対応の豊富なラインアップをご用意しています。
LCD分野では、ガラス表面の濡れ性改善、wet洗浄効果の向上に、
タッチパネル、OLEDの分野では、導電フイルムの表面改質、貼り合わせ
前処理などの目的で使用されます。
【特長】
■ダメージレス
■高い処理性能
■豊富なラインアップ
■実績多数
■対応幅:160~3400mm
■Utility:電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気圧リモートプラズマ装置『RT』
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【用途】 ■LCD分野 ■タッチパネル、OLED分野 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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