クリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所高津伝動精機

ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。昇降式タイプもあります。

各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
特許取得商品です。

滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。
位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。
また、可動部をホールドさせることができるSタイプもあります。

基本情報クリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所

■井口機工製作所：クリーンルーム用位置決めステージ ILS型仕様

○フリータイプ
可動距離：15mm
使用荷重：150kgf
本体材質：アルミ（アルマイト処理）
可動ステージ材質：SUS304

○ストッパータイプ
可動距離：5mm～50mm
使用荷重：30kgf～800kgf
本体材質：アルミ（アルマイト処理）
可動ステージ材質：SUS304／UHMWPE／SUS304+ESD UHMWPE

○昇降式タイプ
水平ストローク：±20mm
昇降ストローク：10mm
使用荷重：350kgf
本体材質：アルミ（アルマイト処理）
可動ステージ材質：SUS304+ESD UHMWPE

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型番・ブランド名	株式会社井口機工製作所
用途／実績例	※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログクリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所

クリーンルーム用イグチベアーカタログ：株式会社井口機工製作所

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取扱企業クリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所

高津伝動精機株式会社

■駆動機器扱い品目　モータ、ギヤモータ、ステッピングモータ、サーボモータ、　インパータ、インデックス、減速機、変速機、ジャッキ等々 ■伝動機器扱い品目　歯車、チェーン・スプロケット、タイミングプーリ・ベルト、　Vプーリ・ベルト、カップリング、ブッシングシステム、　電磁クラッチ・ブレーキ、トルクリミッタ等々 ■軸受扱い品目　ボールベアリング、ニードルベアリング、ピローブロック、すべり軸受等々 ■直動機器扱い品目　リニアモーションガイド、精密・転造ボールねじ、スライドシャフト、　スライドユニット、スプライン軸・軸受、すべりねじ軸・軸受、　一軸テーブル、リニアブッシュ等々 ■空気圧機器　空気圧シリンダ、ロータリーアクチュエータ、エアハンド、　空気圧バルブ、空気圧制御機器等々 ■油圧機器　油圧シリンダ、油圧バルブ、油圧ユニット、油圧ホース、　超高圧油圧機器　等々