日本セミラボ株式会社 複合SEM-AFMシステム
- 最終更新日：2020-08-03 16:48:25.0
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表面とナノ構造を測定する機能！ミリメートルから原子レベルまでをカバーします
走査電子顕微鏡(SEM)と原子間力顕微鏡(AFM)の複合システムをご紹介します。
SEMのズーム機能を使い、AFMチップを対象領域に直接移動可能。
表面の形状や、機械・電気・磁気特性に関する情報をナノメートル分解能で
入手できます。
AFMは、MerlinシリーズとCrossbeamシリーズにご利用でき、既存のシステムを
簡単なドア交換で更新できます。
【特長】
■SEMとFIBはカンチレバーチップで交差
■3つの全手法の複合測定を空間内・サンプル上の完全に同じ点で実行可能
■単一原子の3D分解能を実現するよう設計
■5mmの最小SEM作動距離を維持しながら、SEMで0°～85°の視野角を使用可能
■FIBによるin-situのチップ先鋭化をサポート
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報複合SEM-AFMシステム
【その他の特長】
■AFMと標準のAuriga機能との切り替えは、ユーザーが交換できるSEMドアを用いて
簡単に実行可能
■標準のAFMカンチレバーをすべて使用できるため、機能は無制限
■すべての一般的なAFMの動作モードをサポート
■カンチレバー交換時のレーザー/検出器の自動アライメント
■既存のAuriga SEMを簡単なドア交換でBRR機能に更新可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ複合SEM-AFMシステム
取扱企業複合SEM-AFMシステム
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■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
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