複合SEM-AFMシステム日本セミラボ | イプロス医薬食品技術

表面とナノ構造を測定する機能！ミリメートルから原子レベルまでをカバーします

走査電子顕微鏡(SEM)と原子間力顕微鏡(AFM)の複合システムをご紹介します。

SEMのズーム機能を使い、AFMチップを対象領域に直接移動可能。
表面の形状や、機械・電気・磁気特性に関する情報をナノメートル分解能で
入手できます。

AFMは、MerlinシリーズとCrossbeamシリーズにご利用でき、既存のシステムを
簡単なドア交換で更新できます。

【特長】
■SEMとFIBはカンチレバーチップで交差
■3つの全手法の複合測定を空間内・サンプル上の完全に同じ点で実行可能
■単一原子の3D分解能を実現するよう設計
■5mmの最小SEM作動距離を維持しながら、SEMで0°～85°の視野角を使用可能
■FIBによるin-situのチップ先鋭化をサポート

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.semilab-j.jp/products/research-develop…

基本情報複合SEM-AFMシステム

【その他の特長】
■AFMと標準のAuriga機能との切り替えは、ユーザーが交換できるSEMドアを用いて
　簡単に実行可能
■標準のAFMカンチレバーをすべて使用できるため、機能は無制限
■すべての一般的なAFMの動作モードをサポート
■カンチレバー交換時のレーザー/検出器の自動アライメント
■既存のAuriga SEMを簡単なドア交換でBRR機能に更新可能

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取扱企業複合SEM-AFMシステム

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。