株式会社サイエンスラボラトリーズ 卓上SEM(SNE-4500M Plus B)
- 最終更新日:2020-09-09 14:20:25.0
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ハイエンドモデルの卓上SEM
卓上SEMながら汎用SEMに匹敵する性能を有するハイエンドモデルです。汎用SEMのモジュールを最小化して開発した高性能コンパクトSEMです。タングステンフィラメントタイプの卓上SEMでは業界最高の分解能5nm(最大倍率 150,000x)を実現し、加速電圧は1kV~30kVまで使用可能です。低真空モー ド / 高真空モードの切り替え、二次電子像 / 反射電子像の取得、モーター制御の5軸ステージ、アパーチャーサイズの切り替え機能などが全て標準搭載されております。また、オプションでEDS検出器(元素分析)や冷却ステージなどの追加も可能です。
基本情報卓上SEM(SNE-4500M Plus B)
分解能:5nm
倍率:20 x ~ 150,000 x
検出器:SE (二次電子) / BSE (反射電子)
真空モード:低真空 / 高真空
ステージ:5 軸 (X , Y , Z , R , T) モーター制御
X,Y:40mm
Z : 0 ~ 40mm
R : 360°
T : -45 ~ 90°
最大サンプルサイズ:80 mm(W) / 80 mm(D) / 40 mm(H)
カメラ:トップビューCCD カメラ
アパーチャー:3 段階手動切り替え
電子線源:タングステンフィラメント
加速電圧:1kV ~ 30kV (1/5/10/15/20/30) 6段階
真空ポンプ:ロータリーポンプ + ターボ分子ポンプ
価格帯 | 500万円 ~ 1000万円 |
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納期 |
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※3ヶ月程度 |
型番・ブランド名 | SEC社製 SNE-4500M Plus B |
用途/実績例 | 半導体 電子部品 自動車 材料科学 バイオ 食品 など様々な分野で活躍致します。 |
カタログ卓上SEM(SNE-4500M Plus B)
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