サーパス工業株式会社 微小流量コントローラ『Z3000型』
- 最終更新日：2021-01-21 14:05:24.0
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流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロールが可能になりました
『Z3000型』は、熱式微小流量計とモーターバルブを組み合わせた
微小流量コントローラです。
バルブユニットとコントローラユニットを一体型にし、小さいスペースで
取り付けが可能。
また、通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより
動作状態とアラーム状態の確認ができます。
【特長】
■1～25mL/minの微小領域のコントロールが可能
■バルブユニットとコントローラユニットを一体型
■小さいスペースで取り付けが可能
■LED表示灯により、電源状態、流量制御状態、アラーム状態を確認できる
■通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより
動作状態とアラーム状態の確認ができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報微小流量コントローラ『Z3000型』
【仕様(抜粋)】
■流体：純水、薬液(石英ガラスを腐食させない流体)
■使用流量範囲：1～25mL/min
■接続形状：Wフィッティング
■使用圧力範囲：0～300kPa
■耐圧：500kPa
■流体温度：5～40℃
■環境温度：15～35℃
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ微小流量コントローラ『Z3000型』
取扱企業微小流量コントローラ『Z3000型』
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