コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ ITWジャパン

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行します

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い
精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。

特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、
低流量の測定が可能。

その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の
高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供します。

【特長】
■正確なマスフロー測定
■正確な密度測定
■低質量流量センサパイプによる100%の流体量（バイパスなし）
■独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能
■幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行

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関連リンク - https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/ma…

基本情報コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

【その他の特長】
■コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現
■質量流量、体積流量、温度、密度という4つのパラメータから2つを測定し出力可能
■独立した診断/サービスポートとユーザーディスプレイ
■豊富な材質オプション、筐体タイプ、設置面積に対応

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用途／実績例	【用途】 ■真空プロセス ■触媒研究 ■気化機へのプリカーサ供給 ■精密コーティング ■高精度充填ステーション ■測定ポンプフィードバック/制御ループ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。