ITWジャパン株式会社 マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』

基本情報マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』

【その他の特長】
■高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現
■独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善
■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない
■デバイス1台で、最大6種類までキャリブレーションのプログラムが可能
■ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、
　トラブルシューティング、診断作業を簡素化
■グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、
　高い精度を実現
■数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化

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取扱企業マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』

ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品　超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）

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