ITWジャパン株式会社 マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答!幅広い種類の非腐食性ガスに適しています

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性
も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。

高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された
専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、
当製品は実流量を高速で追従させることができます。

【特長】
■流量応答時間(セトリングタイム) 0.75秒以下
■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム
■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ
■RS-232によるデジタル対応
■オプションのローカルオペレーターインターフェース(LOI)で
 セットアップと操作を合理化

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

【その他の特長】
■幅広い種類の非腐食性ガスに好適
■高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保
■OEMに好適
■ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■熱処理、カッティング/溶接、サーマルプロセス
■ソーラー/薄膜物理蒸着(PVD)システム
■試薬、キャリブレーション、サンプルガス流量の測定と制御を行う解析デバイス

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取扱企業マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

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ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計(ローターメータ) ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア(ケーブル、バルブ等)

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