セントラル科学株式会社 オンラインTOC計 Sievers M500e型

半導体産業や電子産業の超純水中の極低濃度域のTOCを連続モニター!無試薬型「ガス透過膜導電率測定方式」のオンラインTOC計です

オンラインTOC計 Sievers M500eは、電子産業におけるSieversの長年の分析技術を発展させた、3世代目のオンラインTOC計です。Sieversの無試薬型ガス透過膜式導電率測定技術を採用し、TOC 1ppb未満の精度、正確さ、安定性を実現しました。
●ガス透過膜式導電率測定方式で妨害イオンを除去
●無試薬測定のためランニングコストを大幅に削減
●分析時間を最大50%短縮(旧モデルと比較)

Sievers 500RLe型の後継機種です。
正確性、効率性を向上させ、安定した超純水(UPW)の生産をサポートします。

基本情報オンラインTOC計 Sievers M500e型

・全有機炭素(TOC)
測定原理:紫外線酸化+ガス透過膜式導電率測定方式
測定範囲:0.03 ~ 2,500 ppb TOC
精度:± 5% または ±0.1 ppb どちらか大きい方
再現性:1% または 0.03 ppb どちらか大きい方
測定時間:3分(連続オンライン測定時)
サンプル流量(通常):0.25 mL/分
サンプル給水流量:50 mL/分以上
サンプル温度:1~95℃ 短時間の蒸気暴露に耐性
サンプル水圧:100 psigまで
妨害物質:有機物以外の共存イオンの影響を受けない
校正安定性:通常12ヵ月間安定
ディスプレイ表示:有効数字3桁
・装置
電源要件:100~240 VAC、70W、50/60 Hz
正常動作環境:室内のみ
周囲温度:5~40 ℃
湿度:95%まで 結露しないこと
寸法:435(H)× 475(W)× 284(D)mm
重量:13.6 kg
IP保護等級:IP55

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 電子産業
・超純水がTOC管理値を満たすことの確認
・特に酸化しにくい環境において、有機物の完全な回収を保証する
・原水/超純水製造装置/生産工程に存在する有機化合物のデータを活用した、予防/品質保護/トラブルシューティング
・リソグラフィーに影響を及ぼす有機汚染物質を検出することで歩留まり低下を防止

ボイラー設備
・糖類/洗浄剤/冷却液/有機酸などの低濃度の有機汚染物質をTOCで検出
・ボイラー供給水の品質確保による設備のダウンタイム軽減
・熱交換器の汚染検出によるポリッシング設備の保護
・腐食性の有機酸を検出することによる設備停止と設備損傷の回避

ラインナップ

型番 概要
SPRD78130-01 Sievers TOC計 M500e型 <標準iOS付>

詳細情報オンラインTOC計 Sievers M500e型

・Sievers独自のガス透過膜式導電率測定方式
導電率測定方式のTOC計では、有機物の酸化分解後に生成する二酸化炭素(炭酸根イオン)が示す導電率を測定することで、炭素濃度を算出します。Sievers M500eではテフロンの薄膜により二酸化炭素を試料水から分析計内の純水ラインに分離する「ガス透過膜モジュール」と称する二酸化炭素の分離測定メカニズムによって、他のイオンの影響を排除した正確なTOC測定を可能にします。

・共存イオンの影響を受けない正確な測定
超純水の有機物汚染源は、尿素 / 酢酸 / イソプロパノール / トリメチルアミンなど多岐にわたります。Sievers M500eは有機汚染を正確に検出して超純水の品質を保証します。

・加速リンス:2倍のスピード
稼働時間と低濃度のデータ収集能力を最大化するためにプロトコル完了後に高速でリンスダウンをします
✓従来と比較してリンス時間が半減
✓メンテナンスや消耗品交換後も高精度測定

・低濃度校正&検証プロトコル
濃度証明付きの標準液を使って動作範囲に近い校正を行い 難分解性の化合物で検証を行います
✓校正(250ppb KHP)
✓検証(100ppb IPA)

・アダプティブオートゼロ
TOCオフセットの変化に基づいてTOCオートゼロの周期を自動的に決定します
✓TOC 1ppb以下の精度と安定性
✓異なる装置間のマッチング
✓オートゼロ周期の手動設定は不要

取扱企業オンラインTOC計 Sievers M500e型

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セントラル科学株式会社

環境監視から工業用水、上水、下水管理まで、さまざまな産業向けの各種水質測定器(携帯用からオンライン用機器)を販売。自社開発品の他、海外の優れたユニークな機器を販売(アメリカVeolia社Sievers TOC計、ドイツWTW社水質測定器など)。  <測定項目別、取扱製品例>DO、BOD、COD、TOC、pH、導電率、濁度、残留塩素、窒素・りん、SS、MLSS、など他多数

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