録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。
ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の
「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、
気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。
高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、
エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示ができます。
【特長】
■ウェハサイズは4インチ～12インチに対応
■高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載
■貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
■エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』
【仕様（抜粋）】
■検査ウェハ：6インチ～12インチ（ホルダ変更で4インチ対応）
■検査対象：ウェハのエッジ部分 外周360度 角度設定1度単位
■ビューワー
・3方向 同時表示 ノッチ検査可能
・目視にてクラック、傷、異物、膜面状態、面荒れなどが視認可能
■スループット：10秒/枚～30秒/枚（条件による）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ウェハ・エッジ状態を見る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』
取扱企業ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』
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株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ 半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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