日本セミラボ株式会社 エピ膜厚測定装置『EIR-2500』

IR反射率測定ヘッドを使用可能!高スループットのエピ膜厚測定を実現した測定装置

『EIR-2500』は、FTIR機能と共に、赤外分光反射率計を備えた独自の
エピ膜厚測定装置です。

高スループットのエピ膜厚測定を実現し、適用されるSEMI/CE規格に完全に
準拠しています。

また、EIR製品シリーズは、高性能で信頼性の高い電子機器に基づいており、
装置の稼働時間を向上してメンテナンスの必要性を減らします。

【特長】
■ウェハーサイズ:4~12インチ
■Si, SOI, SiC, SiGe, III Vなど
■FTIR機能
■エピ膜厚を高精度測定
■遷移領域の膜厚測定

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報エピ膜厚測定装置『EIR-2500』

【その他の特長】
■酸素濃度、炭素濃度測定
■ロードポート:シングルまたはデュアルカセットロードポート
■高速マッピングステージ
■IR反射率測定ヘッドを使用可能(エピ膜厚用)
■追加の測定ヘッドを使用可能(分光エリプソメーター、4PPなど)
■エッジグリップ(オプション)

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カタログエピ膜厚測定装置『EIR-2500』

取扱企業エピ膜厚測定装置『EIR-2500』

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日本セミラボ株式会社 新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM(原子間力顕微鏡) キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。

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