株式会社アポロウエーブ セミオートプローバー『AP-150／AP-200』
- 最終更新日：2021-04-07 17:58:38.0
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-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定に！マイナス温度時も結露しません
『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した
セミオートプローバーです。
コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。
ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も
結露しません。
また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ
アライメント等を搭載できます。
【特長】
■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応
■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応
■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能
■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト
■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報セミオートプローバー『AP-150／AP-200』
【接続が想定される測定器】
■半導体パラメータアナライザ
■パワーデバイスアナライザ
■ソースメジャーユニット
■カーブトレーサ
■LCRメータ
■デジタルマルチメータ
■インピーダンスアナライザ
■ネットワークアナライザ
■その他、各社の各種測定器
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【アプリケーション】 ■微小電流IV測定(fAレベル) ■CV測定 ■20kV/200Aレベルのハイパワー測定 ■高周波測定 ■高低温環境での温度特性試験 ■TDDB等の信頼性試験 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
取扱企業セミオートプローバー『AP-150／AP-200』
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半導体デバイス検査装置のプローブカード、プローバー、ホットチャックの製造・販売を行っています。
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