ITWジャパン株式会社 圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、
コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、
従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と
再現性が向上しています。

【特徴】
■測定誤差の低減
■すべてのプロセス条件に好適
■高精度な流量制御
■バルブリークを1/100に低減

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基本情報圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】

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取扱企業圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】

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ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計(ローターメータ) ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア(ケーブル、バルブ等)

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