ITWジャパン株式会社 圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】
- 最終更新日：2021-04-16 13:03:56.0
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最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー
GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、
コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、
従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と
再現性が向上しています。
【特徴】
■測定誤差の低減
■すべてのプロセス条件に好適
■高精度な流量制御
■バルブリークを1/100に低減
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基本情報圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】
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取扱企業圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】
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【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）
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