キヤノンアネルバ株式会社 クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性!大気圧から超高真空まで広い圧力領域をこの1台で測定

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ
クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア
B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。

大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。

真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の
圧力測定などにお使いいただけます。

【特長】
■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた
 コンビネーションゲージ
■超高真空から大気圧
■高精度、低真空領域において優れた再現性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

【仕様(抜粋)】
■入力電圧:DC+20~28V
■消費電力:12W
■セットポイント:2接点出力
■入出力コネクタ:D-sub9ピン
■最大ケーブル長:300m(1mm2)
■使用温度範囲:5~50℃
■保存温度範囲:-20~70℃(非動作時)
■センサー型名:MX-1
■外形寸法(mm):149×70×50(NW25)
■フランジ形状:NW16、NW25、NW40、φ70ICF

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など

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カタログクリスタルイオンゲージ『M-336MX』

取扱企業クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス

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