コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』キヤノンアネルバ

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、
高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを
組み合わせたコンビネーションゲージです。

1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの
コストダウンや管理負荷低減に貢献。

また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。

【特長】
■測定安定性の改善
　・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減
■優れた大気圧検出を実現（当社比）
　・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

【仕様（抜粋）】
■入力電圧：DC＋15～30V
■消費電力：2.4W
■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A）
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能
■使用温度範囲：5～55℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：CP2
■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様）
■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE ■SEM、SIMS、AES、XPS、表面/ガス/質量分析 ■アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接 ■加速器、サイクロトロン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。