ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』キヤノンアネルバ

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を
向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。

半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など
さまざまな装置にお使いいただけます。

【特長】
■耐食性の向上（Niフィラメント採用など）
■再現性がよく低価格
■5×10^-2Paから大気圧
■取付方向の制約がない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

【ラインアップ】
■M-351PG-SP/N16
■M-351PG-SP/N25
■MP2/N16
■MP2/N25

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■半導体・電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、　プラズマCVD装置、LD-CVD装置 ■食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。