株式会社クリエイティブテクノロジー 静電チャック 吸着モニターユニット
- 最終更新日:2021-04-20 16:16:05.0
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静電チャックと制御電源の間に接続することで、静電チャックと対象物の状態を常時モニタリングすることが可能です。
クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。
静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。
【特長】
■対象物の吸着状態を常時モニタリング
■突発的な不具合の検出可能
■取り付けが容易
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報 静電チャック 吸着モニターユニット
【吸着モニターユニットが推奨されるケース】
■静電チャックの吸着状態を常時モニタリングしたい場合
■静電チャックにセンサ機能を搭載したい場合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【適用例】 ■静電チャックの常時モニタリング ■突発的な不具合の検出 ■生産設備との容易な通信 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。 |
カタログ 静電チャック 吸着モニターユニット
取扱企業 静電チャック 吸着モニターユニット
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