拡がり抵抗測定装置『SRP-170/2100』日本セミラボ

PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定！オプションにより表面抵抗測定可！

当社が取り扱う、拡がり抵抗測定装置『SRP-170/2100』をご紹介します。

斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に2探針をコンタクトさせ、
そのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル、
EPI層の厚み、PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定。

「SRP2000」は、プローブのコンディショニング、ベベルアングルの測定、
標準サンプルのデータ入力などが全自動化し、多数サンプルの連続自動
測定ができ、サンプルは最大6個同時搭載可能です。

【特長】
■世界標準キャリア濃度分布・プロファイル測定装置
■測定自動化に対応（SRP-2100）
■オプションにより表面抵抗測定可（SRP-170)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.semilab-j.jp/products/semiconductor-in…

基本情報拡がり抵抗測定装置『SRP-170/2100』

【主な測定・評価項目】
■比抵抗プロファイル
■Epi層厚み測定
■PN接合深さ測定
■キャリア濃度分布

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業拡がり抵抗測定装置『SRP-170/2100』

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。