日酸TANAKA株式会社 超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV1300シリーズ』
- 最終更新日:2022-01-28 20:26:20.0
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接ガス部のネジ構造を排除!出荷検査を全数に実施した超高純度ガス用圧力調整器
『S-TORRV1300シリーズ』は、一次高圧用の標準機種としてシリンダー
キャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいている
超高純度ガス用圧力調整器です。
本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール
構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して
お使いいただけます。
一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
【特長】
■一次側高圧用標準機種
■TORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV1300シリーズ』
【その他の特長】
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV1300シリーズ』
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