日酸TANAKA株式会社 高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』
- 最終更新日：2022-01-28 20:26:20.0
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『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや
室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける
高純度ガス用圧力調整器です。
電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の
クリーンルームで行っています。
TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用
圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。
【特長】
■一次側低圧用標準機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』
【性能】
■入口側最高使用圧：5MPa
■出口側最高使用圧：1.0MPa
■最大流量：300L/min（nor)（P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：1.1kg
■内蔵フィルター濾過度：20μm
■出入口ポート口径：1/4"
■外部リーク量
・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下（ネジ式接続)
・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下（溶接接続)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』
取扱企業高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』
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【営業品目】 ○機器・溶接材料 レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、 溶接機器、溶接材料、産業用 ロボット、溶接溶断関係機器、容器、 高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、 半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、 理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス 酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、 標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、 ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工 高精度分析用ガス供給設備
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