日酸TANAKA株式会社 高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
- 最終更新日：2022-01-28 20:26:20.0
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『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、
電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。
TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用
圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、
出荷検査を全数に実施。
一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする
配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。
【特長】
■一次側低圧用中流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
【性能】
■入口側最高使用圧：2.0MPa
■出口側最高使用圧：0.6MPa
■最大流量：2、400L/min（nor)（P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：3.7kg
■出入口ポート口径：1/2"
■外部リーク量：1.3×10^-8Pa・m3/sec以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
取扱企業高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
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【営業品目】 ○機器・溶接材料 レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、 溶接機器、溶接材料、産業用 ロボット、溶接溶断関係機器、容器、 高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、 半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、 理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス 酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、 標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、 ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工 高精度分析用ガス供給設備
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