高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』日酸TANAKA

一次側低圧用大流量機種！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器

『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの
大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。

電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を
全数に実施しています。

組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、
フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。

【特長】
■一次側低圧用大流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm）
■液化ガスの大流量供給設備や大口径配管などで使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - http://nissantanaka.com/product/semiconductor/hand…

基本情報高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』

【性能】
■入口側最高使用圧：1.5MPa
■出口側最高使用圧：0.6MPa
■最大流量：230m3/h（nor)（P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：10kg
■出入口ポート口径：1/2"
■外部リーク量
・1.3×10^-6Pa・m3/sec以下（ネジ式接続)
・1.3×10^-7Pa・m3/sec以下（溶接接続)

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取扱企業高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』

日酸TANAKA株式会社産業機器事業部

【営業品目】 ○機器・溶接材料　レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、　溶接機器、溶接材料、産業用　ロボット、溶接溶断関係機器、容器、　高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、　半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、　理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス　酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、　標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、　ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工　高精度分析用ガス供給設備