日酸TANAKA株式会社 高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』
- 最終更新日：2022-01-28 20:26:20.0
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『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な
高純度ガス用圧力調整器です。
TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用
圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、
出荷検査を全数に実施。
一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる
一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備でお使いいただいて
おります。
【特長】
■一次側高圧用中流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』
【性能】
■入口側最高使用圧：20MPa
■出口側最高使用圧：1.0MPa
■最大流量：1、400L/min（nor)（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：1.8kg（4ポート)
■内蔵フィルター濾過度：20μm
■出入口ポート口径：1/4"
■外部リーク量
・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下（ネジ式接続)
・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下（溶接接続)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』
取扱企業高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』
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【営業品目】 ○機器・溶接材料 レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、 溶接機器、溶接材料、産業用 ロボット、溶接溶断関係機器、容器、 高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、 半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、 理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス 酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、 標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、 ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工 高精度分析用ガス供給設備
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