京浜ラムテック株式会社 独自技術のスパッタリング成膜でハイレベルなDLC成膜を実現!
- 最終更新日:2024-07-02 13:27:48.0
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DLC成膜(膜質:ta-C領域, 表面粗度Ra0.16nm, 透過率:88%)を 従来では課題の多かったスパッタで実現
RAM CATHODE(4面対向式カソード)により、イオン化率を劇的に向上させ
HIPIMS電源を使用せず、DCパルス電源でDLC(ta-C)の形成が可能
【従来のスパッタリング法】
カーボンのイオン化率が低い為、ta-C領域を得るには、HIPIMS電源を使用し、
強制的にイオン化率を上げなければなりませんでした。
【当社が開発したRAMカソード】
4面に対向するターゲットを配することでターゲット間の磁界により
プラズマの拘束を高めることが可能となり、高密度プラズマが形成されます。
拘束されたプラズマ内において電子、反跳アルゴン、C fluxは、
互いに衝突を繰り返すことでArイオン及びCfluxのイオン化が促進され、
DLC膜においてC-C結合を容易に形成することができます。
その結果、HIPIMS電源を使用することなく、高硬度で平滑度の高いDLC形成を実現化しました。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報独自技術のスパッタリング成膜でハイレベルなDLC成膜を実現!
【特徴】
・DLC形成:イオン化率が従来のスパッタリング手法による形成時より高い
●4面対向ターゲットで拘束されたプラズマ内において電子、反跳アルゴン、C fluxが
互いに衝突を繰り返すことでArイオン化及びCfluxのイオン化が促進される。
C+はイオン衝突により高エネルギーでイオン化が促進するためDLC膜において
C-C結合が容易に形成することが可能。
●「透過率」「硬度」「表面の粗さ」が向上。
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用途/実績例 | 【用途例】 スマートフォンのカバーガラス 食品フィルム 医療布・ポリマー シリンジ・薬液容器 人工関節 赤外カメラ・赤外センサー Etc. |
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