ナガセテクノエンジニアリング株式会社 モバイル静電キャリア
- 最終更新日：2021-09-21 11:21:07.0
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接着剤なしで、あらゆる基板を瞬時に接着・剥離が可能なモバイル静電キャリア
当製品は、Eshylon Scientific社が開発した革新的なモバイル静電キャリアです。
専用キャリアに薄い基板を接着し補強することにより、壊れやすい基板を損傷なく
ハンドリングします。
反りのある極薄ウエハも既存ラインで従来のプロセスを行うことが可能です。
並外れた歩留まり、高い処理能力により、基板の薄膜化のニーズにお応えします。
【特長】
■高スループット
■歩留まり向上
■低コスト
■広域な用途
■接着剤不使用
※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報モバイル静電キャリア
【仕様】
■サイズ：100mm、150mm、200mm、300mm
■厚み：300um～SEMI規格、カスタム可能
※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■薄ウェーハのハンドリング ■ウェーハ薄化 ■Fab改造なく既存装置を再利用 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログモバイル静電キャリア
取扱企業モバイル静電キャリア
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１．低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス ２．低温関連機器の設計・開発、製造及び販売 ３．半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス ４．外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス ５．その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス ６．農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス
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