ナカンテクノ株式会社 角型ゲートバルブ
- 最終更新日：2021-10-14 15:01:13.0
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「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。
カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、
Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。
お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。
【特長】
〈デュアルゲートバルブ〉
■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い
■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上
■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ)
■開口45×450mmに対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報角型ゲートバルブ
【その他の特長】
〈シングルゲートバルブ〉
■カム駆動式による逆圧対応
■100万回動作
■ロープライス
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ角型ゲートバルブ
取扱企業角型ゲートバルブ
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■印刷機械類の製造・販売 ■液晶製造装置の製造・販売 ■印刷機械周辺部材の製造・加工・販売 ■印刷技術に関する研究指導 ■レーザー加工装置の製造・販売
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