サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております
当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を
ご紹介します。
シンプル構造で低価格を実現。
〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。
4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。
【特長】
■高い汎用性（〇型□型試料対応）
■信頼性の高い球面軸受 平行機構
■シンプル構造で低価格を実現
■Φ4in、Φ6in、Φ8in仕様
■CToC自動搬送
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
【仕様】
■露光光源：照度分布±5％以内
■露光解像度
・ソフトコンタクトL/S 3μm
・ハードコンタクトL/S 1μm
■アライメント精度
・Top-side ±1μm
・Bottom-side ±3μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■量産工程用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
取扱企業量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
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株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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