4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置！
株式会社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。
当製品は、露光光源が照度分布±5％以内の多品種量産用半自動露光装置です。
自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬送の
流れで行うことができます。
詳細については、お気軽にご相談ください。
【仕様】
■φ4in φ6in φ8in 仕様
■Top-side アライメント
■Bottom-side アライメント
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報半自動露光装置『半自動マスクアライナー』
【その他の仕様】
■露光光源：照度分布±5％以内
■露光解像度
・ソフトコンタクトL/S 3μm
・ハードコンタクトL/S 1μm
■アライメント精度
・Top-side ±2μm
・Bottom-side ±5μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ半自動露光装置『半自動マスクアライナー』
取扱企業半自動露光装置『半自動マスクアライナー』
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株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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