株式会社エムアイティ NuPure ガス精製器『Eliminator CA』
- 最終更新日:2024-10-11 20:39:22.0
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1ppb以下への不純物の除去!ヒーター・電源不要のNuPure社製のガス精製器
『Eliminator CA』は、室温での操作でガス不純物をSub-ppbレベルまで低減させる
NuPure社製ガス精製器です。
不活性ガス(窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン)から、
H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHCなどを1ppb未満レベルまで除去します。
標準サイズで0~2500slpmの流量範囲の製品をラインアップしております。
【特長】
■1ppb以下への不純物の除去
■ヒーター・電源不要
■室温動作(RT)
■ハウジング 316L SS(<10 Ra EP)
■最長10年まで再生可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報NuPure ガス精製器『Eliminator CA』
【その他の特長】
■プロセス装置の性能改善
■オプションで0.003μmフィルター内蔵(PF)
■高流量タイプ-最大 2500slpm
■低コスト
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体産業 ■高純度溶接 ■不活性ガスパージなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログNuPure ガス精製器『Eliminator CA』
取扱企業NuPure ガス精製器『Eliminator CA』
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