ワッティー株式会社 窒化アルミ製セラミックヒータ

高速昇温、高速冷却!金属アルミに近い熱伝導で、耐腐食性に優れています

ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ(Hi watty)』は、
半導体製造装置にご使用いただけます。

純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。

製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と
なっています。

【特長】
■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ
■高速昇温、高速冷却
■金属アルミに近い熱伝導
■熱膨張が小さい
■電気絶縁性が高い
■優れた耐腐食性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

▼お問い合わせ先
TEL:相模原事業所 042-704-5352
MAIL:info@watty.co.jp

基本情報窒化アルミ製セラミックヒータ

【仕様】
■最高使用温度:600℃
■発熱体:タングステン
■熱伝導率:180W/m・K以上
■熱膨張係数:4.6x10-6/℃
■体積抵抗率:1013Ω・cm以上
■製作可能寸法:130×130mm または Φ130mm以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体製造装置

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ窒化アルミ製セラミックヒータ

取扱企業窒化アルミ製セラミックヒータ

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ワッティー株式会社

センサー事業部ではフロートスイッチ、レベルスイッチ、レベルセンサなど 呼び方は様々ですが、液体の水位制御に最適な磁気式、光学式、電極式、 超音波式を応用した液面センサをご提案します。 熱システム事業部では主に半導体製造装置や医療器具向けの 高精度なヒータの設計・製作、ALD成膜装置の製造販売・受託作業等を行っております。 お客さまの希望に合わせた設計から生産までワッティーにお任せください。 【取扱製品】 ・窒化アルミ(セラミック)ヒータ ・シリコンラバーヒータ ・ポリイミドヒータ ・マイカヒータ ・カートリッジヒータ ・ヒートエクスチェンジャー(ガス加熱器) ・マントルヒータ(ジャケットヒータ) ・イージートレースヒータ ・テープヒータ ・シリコンベルトヒータ ・ヒータASSY ・ユニットASSY ・ALD(原子層堆積)装置 ・ALD受託成膜サービス​

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