ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ（Hi watty）』は、
半導体製造装置にご使用いただけます。
純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。
製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と
なっています。
【特長】
■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ
■高速昇温、高速冷却
■金属アルミに近い熱伝導
■熱膨張が小さい
■電気絶縁性が高い
■優れた耐腐食性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
▼お問い合わせ先
TEL：相模原事業所 042-704-5352
MAIL：info@watty.co.jp
基本情報窒化アルミ製セラミックヒータ
【仕様】
■最高使用温度：600℃
■発熱体：タングステン
■熱伝導率：180W/m・K以上
■熱膨張係数：4.6ｘ10-6/℃
■体積抵抗率：1013Ω・cm以上
■製作可能寸法：130×130mm または Φ130mm以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ窒化アルミ製セラミックヒータ
取扱企業窒化アルミ製セラミックヒータ
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センサー事業部ではフロートスイッチ、レベルスイッチ、レベルセンサなど 呼び方は様々ですが、液体の水位制御に最適な磁気式、光学式、電極式、 超音波式を応用した液面センサをご提案します。 熱システム事業部では主に半導体製造装置や医療器具向けの 高精度なヒータの設計・製作、ALD成膜装置の製造販売・受託作業等を行っております。 お客さまの希望に合わせた設計から生産までワッティーにお任せください。 【取扱製品】 ・窒化アルミ（セラミック）ヒータ ・シリコンラバーヒータ ・ポリイミドヒータ ・マイカヒータ ・カートリッジヒータ ・ヒートエクスチェンジャー（ガス加熱器） ・マントルヒータ（ジャケットヒータ） ・イージートレースヒータ ・テープヒータ ・シリコンベルトヒータ ・ヒータASSY ・ユニットASSY ・ALD（原子層堆積）装置 ・ALD受託成膜サービス
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