トライオプティクス・ジャパン株式会社 新型 高精度偏芯測定装置
- 最終更新日:2022-01-05 17:05:24.0
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高精度偏芯測定装置の次世代機が登場!
エアーベアリングの方位位置精度の向上により、組レンズの測定精度が向上、より剛性の高い構造により、シングルショットの測定、アライメントが向上しています。また、ステージの移動速度が向上したことにより、より効率的な測定が可能になりました。
基本情報新型 高精度偏芯測定装置
最大の特徴は、下記の2種類のタイプの構成から選択することができます。
●可動式オートコリメータ
従来のOptiCentricと同じ構造です。オートコリメータが軸上を移動し、ケラレの影響を最小限に抑えることができます。
●固定式オートコリメータ
オートコリメータが移動軸の上に固定され、対物レンズがZステージを移動します。それによる、Zステージのロール誤差が低減されます。
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取扱企業新型 高精度偏芯測定装置
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