特許機器株式会社 アクティブ磁場キャンセラー『AMC-331』

特許機器の微振動測定技術が生んだ、高性能アクティブ磁場キャンセラーのご紹介

『AMC-331』は、電子線応用装置を磁場変動から守る、高性能アクティブ
磁場キャンセラーです。

磁場センサで検知した外乱磁場を、コントローラとヘルムホルツコイルの
組合せで制御することにより、外乱磁場の影響を抑制。

電子顕微鏡の画像改善や電子線ビーム加工装置の加工精度向上に
役立ちます。

【特長】
■最大40~60dBの優れた減衰性能
■シールドによる磁場対策に比べ約1/10のコストを実現
■装置周辺にコイルを固定するだけ
■対象装置に応じてコイルを設計
■周波数解析に基づき、複数の外乱磁場をピンポイントで制御

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報アクティブ磁場キャンセラー『AMC-331』

【その他の特長】
■制御方式:準直流+交流代表値制御+各軸独立フィードバック制御
■制御範囲:±15μT(認定可)
■制御周波数:準DC~1kHz
■減衰率:40~60dB

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■走査型電子顕微鏡(SEM)
■透過型電子顕微鏡(TEM)
■集束イオンビーム(FIB)
■測長SEM(CD-SEM)
■電子ビーム描画装置(EBL)
■質量分析装置(MS)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業アクティブ磁場キャンセラー『AMC-331』

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特許機器株式会社

(1)防振、除振、制振、免震等振動制御装置の製造、販売。 (2)振動関連試験装置、計測機器、監視装置の製造、販売 (3)振動計測及びコンサルタント

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