特許機器の微振動測定技術が生んだ、高性能アクティブ磁場キャンセラーのご紹介
『AMC-331』は、電子線応用装置を磁場変動から守る、高性能アクティブ
磁場キャンセラーです。
磁場センサで検知した外乱磁場を、コントローラとヘルムホルツコイルの
組合せで制御することにより、外乱磁場の影響を抑制。
電子顕微鏡の画像改善や電子線ビーム加工装置の加工精度向上に
役立ちます。
【特長】
■最大40～60dBの優れた減衰性能
■シールドによる磁場対策に比べ約1/10のコストを実現
■装置周辺にコイルを固定するだけ
■対象装置に応じてコイルを設計
■周波数解析に基づき、複数の外乱磁場をピンポイントで制御
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報アクティブ磁場キャンセラー『AMC-331』
【その他の特長】
■制御方式：準直流＋交流代表値制御＋各軸独立フィードバック制御
■制御範囲：±15μT(認定可)
■制御周波数：準DC～1kHz
■減衰率：40～60dB
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■走査型電子顕微鏡(SEM) ■透過型電子顕微鏡(TEM) ■集束イオンビーム(FIB) ■測長SEM(CD-SEM) ■電子ビーム描画装置(EBL) ■質量分析装置(MS) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業アクティブ磁場キャンセラー『AMC-331』
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