エムエス機器株式会社 半導体製造装置用チラー
- 最終更新日：2022-05-18 15:29:23.0
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半導体製造装置向けに設計されたチラーです。
半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、
一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。
ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは
・高い生産性
・長期にわたる信頼性
・操作ミスを誘発しない簡易な操作性
が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に
設計されたOEMモデルです。
基本情報半導体製造装置用チラー
MX500
最大19.3 kWの冷却能力で、0.5℃の温度安定性を持つ
水冷式循環冷却装置です。半導体製造工場のクリーン
ルーム内で要求されるSEMI規格に準拠するためのEMO(緊急停止
ボタン)やLOTO(電源の遮断固定、警告表示）などのオプション
を標準装備しています。
NESLAB３（SYSTEM３）
冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や
工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。
最大50 kWの冷却能力で±1.0℃の温度安定性を提供します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・プラズマエッチャー ・アッシャー ・CVD ・PVD ・イオン注入 ・CMP ・テスター ・高速熱処理 |
取扱企業半導体製造装置用チラー
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科学機器の輸入・国内販売及びアフターサービス業務。
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