EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。
標準でインバーターが搭載されており（コントローラー無し）、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。
750m3/hrのモデルでは、ブローオフバルブ機能を有しており、低真空圧近くの気体をバルブを介して排気することにより、モーターへの負荷軽減による更なる省エネ効果が期待出来ます。
＜特長＞
・ 高い信頼性と優れた排気速度
エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用
・到達圧力 <1Pa
・ ランニングコストの低減
高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減
ブローオフバルブ機能によるモーターへの負荷軽減（750m3/hrのモデルのみ）
・ パージ機能により幅広い用途に適応
・ 高電圧仕様（380～460V）
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基本情報ドライポンプ EXSシリーズ 排気速度450～750m3/hr
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 金属熱処理（硬化炉、浸炭炉、焼結炉）、凍結乾燥、樹脂成型、製鉄処理、コーティング（ガラス、フィルム）、真空乾燥(リチウム電池) |
取扱企業ドライポンプ EXSシリーズ 排気速度450～750m3/hr
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事業内容 ： 各種真空ポンプ、真空計、排ガス処理装置の製造販売 主な製品 ： ロータリーポンプ(オイルポンプ)/ドライブポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプ/真空計(真空ゲージ)/バルブ/フィッティング/排ガス処理装置(除外装置) 主なユーザー ： 製造業全般（半導体、電子部品・電子回路、自動車、化学工業、医薬品、鉄鋼業、食料品、電力、産業機械）、大学官公庁、研究機関 エドワーズ日本法人は、1971年に設立され、約半世紀にわたり事業を展開してきました。 ターボ分子ポンプの開発・製造を行っている八千代工場（千葉県）、ポンプの修理サービス工場である伊那工場（長野県）、日本全国をカバーする営業・サービス拠点を有しております。 磁気軸受式ターボ分子ポンプは、最高性能と品質を誇り、日本国内で研究開発、製造されている自慢のプロダクトであります。 その高い開発力・技術力の維持発展は、我々日本法人の強みであり、自信を持って日本を始め世界のお客様に製品をお届けしております。 日本法人では、ISO9001、ISO14001の認証を取得しております。
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