キヤノンアネルバ株式会社 イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
- 最終更新日：2023-01-24 13:14:17.0
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新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適しています
『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は
ノーブルポンプを運転する制御装置です。
表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。
従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を
実現しています。
充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への
対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。
【特長】
■高性能
■充実の機能
■高互換性
■通信対応
■適合規格：CEマーキング、RoHS指令 適合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
【その他の特長】
■電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、
高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応
■セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能)
■従来機種とリモ－トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保
■RS232C(オプション/工場組込対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■電子顕微鏡、電子線描画装置 ■イオンビ－ム装置、マスクリペア装置 ■蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム ■MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログイオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
取扱企業イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
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■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス
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