超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』キヤノンアネルバ

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの完全対称形フランジ

当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。

当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用
フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。

専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。

【特長】
■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール
■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様
■-196℃より+450℃までの温度範囲でリークフリー
■オス・メスなしの完全対称形フランジ

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関連リンク - https://anelva.canon/business/component/pa_detail0…

基本情報超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

【その他の特長】
■外径の等しいものであれば、どのフランジとも接続でき、回転フランジを使えば
　取付け方向は自由
■シール用ガスケットは銅板(無酸素銅)製で、超高真空用特殊処理を採用
■フランジの材質はステンレス鋼(SUS304)

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