超高真空L型ポリイミドバルブキヤノンアネルバ

ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えることが可能

『超高真空L型ポリイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで
使用できる製品です。

真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。
150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。

また、バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも
オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。

【特長】
■10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる
■優れた許容加熱性
■ガス放出の少ないシール材
■小さな締付けトルク

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/val_detail…

基本情報超高真空L型ポリイミドバルブ

【ラインアップ】
■951-7120
■951-7145

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