キヤノンアネルバ株式会社 ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用!ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを
導入するための製品です。

軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、
真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。

高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして
適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。

【特長】
■超高真空領域用
■大気混入なし
■優れた許容加熱性
■容易なメンテナンス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

【仕様(抜粋)】
■使用真空領域:大気圧~10^-7Pa程度
■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■オリフィス径:φ8.5mm
■許容加熱温度
 ・バルブ開時150℃
 ・バルブ閉時125℃
■接続フランジ:φ70ICF、NW25フランジ
■質量:0.5kg

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
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カタログガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

取扱企業ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス

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