キヤノンアネルバ株式会社 アイソレイトバルブ『V-025SV』
- 最終更新日：2023-01-23 16:21:34.0
- 印刷用ページ
特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。
カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる
ポンプ油の逆流防止に役立ちます。
駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の
自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。
(ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。)
【特長】
■ポンプ油の逆流防止
■圧縮空気およびその配管は不要
■駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用
■制御回路不要
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
基本情報アイソレイトバルブ『V-025SV』
【仕様(抜粋)】
■使用圧力領域：大気圧～10^-2Pa程度
■リーク量：＜5×10^-7Pa・m3/sec
■コンダクタンス：420L/min(20℃空気に対する分子流領域での値)
■メンテナンスタイム：30,000サイクルまたは1年
■接続フランジ：NW25フランジ
■使用流体：大気またはガス(腐食性ガスを除く)
■使用環境：周囲温度10℃～40℃
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログアイソレイトバルブ『V-025SV』
取扱企業アイソレイトバルブ『V-025SV』
-
-
■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス
アイソレイトバルブ『V-025SV』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
