ゼノマックスジャパン株式会社 高耐熱ポリイミドフィルム『ゼノマックス(R)』
- 最終更新日:2023-05-09 14:13:35.0
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優れた寸法安定性と表面平滑性!高密度化が進む半導体パッケージ基板などへの展開が可能
『ゼノマックス(R)』は、東洋紡株式会社と長瀬産業株式会社の合弁会社「ゼノマックスジャパン株式会社」で製造している高耐熱ポリイミドフィルムです。
ポリマーフィルムで最高レベルの寸法安定性・高い耐熱性を有し、ガラス・シリコンウェハ・セラミックス・金属の代替や複合化などに適した材料です。
「薄い、曲る、軽い、割れない、加工しやすい」といった特長を活かし、
軽・薄・大型化が進む薄膜トランジスタ基板や高密度化が進む半導体
パッケージ基板などへの展開が可能です。
【特長】
■優れた寸法安定性:ガラス・シリコンウェハ、セラミックと同等の寸法安定性(線膨張係数0~3ppm/K)
■高耐熱性:500℃でも平面性維持(反り・変形なし)
■優れた表面平滑性:ディスプレイ用ガラス基板と同等の表面平滑性(Ra≓0.5nm)
基本情報高耐熱ポリイミドフィルム『ゼノマックス(R)』
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( A6429D2 )
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