高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食性ガスの供給に最適です。
『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。
スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。
オプションで組立環境(クラス10000orクラス10)や洗浄(禁油禁水のみor純粋洗浄)、電解研磨(ありorなし)などの選択が可能なので、ガス使用用途によりカスタマイズが可能です。
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報超高純度ガス用圧力調整器『SRQ-1HL・SRQ-1LL』
『SRQ-1HL/SRQ-1LL』
■一次側圧力(MPa)：1〜20 /1～3)
■二次側圧力(MPa)：0.1〜0.99
■材質：SUS316L
■質量：1.3kg
■標準流量(m³/h)
・SRQ-1HL：160 (P1=15MPa,P2=0.99MPa)
・/SRQ-1LL：80 (P1=3MPa,P2=0.99MPa)
■最大流量(m³/h)
・SRQ-1HL：200(P1=15MPa,P2=0.99MPa)
・SRQ-1LL：100 (P1=3MPa,P2=0.99MPa)
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 腐食性ガスや高純度なガス供給に最適です。 材質、組立環境、洗浄、電解研磨などオプションがあり、 極めて高純度なガスが求められる半導体用ガスで多数実績があります。 |
取扱企業超高純度ガス用圧力調整器『SRQ-1HL・SRQ-1LL』
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