ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応！専用ノズル追加で界面活性剤を塗布可能
当社の、純水のみで高速洗浄する『ウェーハジェットスクラバー』を
ご紹介します。
「WJS-150B」をはじめ「WJS-200B」や「WJS-300B」をラインアップ。
また、ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、
エクスパンド）等々、さまざまな工程に対応可能です。
【特長】
■純水のみで高速洗浄
■さまざまな工程に対応可能
■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤（中性/弱アルカリ）を塗布可能
■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウェーハジェットスクラバー
【仕様（一部）】
■高速JET洗浄：～100kg/cm2
■ブラシ洗浄：ナイロン、ベルクリン（選択）
■超音波洗浄：1.1MHz
■2流体洗浄：専用ノズル
■ステージ回転数：3,000rpm
■品種登録数：10ch
■洗浄ステップ：20ステップ
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、エクスパンド）等 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業ウェーハジェットスクラバー
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