ケイエルブイ株式会社 マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線照射装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。

ALEシリーズのALE/1と大きく異なる点は、同一波長のモジュールを複数搭載できることです。
そのため、i線もしくはg線のみを高強度で出力することも可能で、半導体アプリケーションに適しております。
LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

基本情報マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2

製品の特徴
・超ハイパワーUV出力:最大80W(単一波長でも可)
・水銀不使用
・LEDで高安定、ランニングコスト削減
・内蔵するLEDを選択可能
・365nm/385nm/405nm/435nm
・フィードバックコントロール制御による出力維持
・純正の冷却システムを併せてご提供。既存システムへの統合可。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 ALE/2
用途/実績例 ■半導体アプリケーション用UV-LED光源装置
・マスクアライナー
・ウェーハ ステッパー
・ウェーハエッジ露光
・フォトマスク検査用光源

■UV樹脂の硬化

ラインナップ

型番 概要
ALE/1.1
ALE/1.2
ALE/1.3
ALE/2

カタログマルチスペクトルLED光源装置 ALE/2

取扱企業マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2

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ケイエルブイ株式会社

ハイパースペクトルカメラ、マルチスペクトルカメラ、分光器、 (UV~IR)各種光源、波長可変光源、紫外線照射装置、レーザー、 液体ライトガイド、フィルタ、センサ等の光学製品の販売

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