ケイエルブイ株式会社 マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2
- 最終更新日:2024-11-11 11:35:54.0
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同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、
ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線照射装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。
ALEシリーズのALE/1と大きく異なる点は、同一波長のモジュールを複数搭載できることです。
そのため、i線もしくはg線のみを高強度で出力することも可能で、半導体アプリケーションに適しております。
LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。
基本情報マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2
製品の特徴
・超ハイパワーUV出力:最大80W(単一波長でも可)
・水銀不使用
・LEDで高安定、ランニングコスト削減
・内蔵するLEDを選択可能
・365nm/385nm/405nm/435nm
・フィードバックコントロール制御による出力維持
・純正の冷却システムを併せてご提供。既存システムへの統合可。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | ALE/2 |
用途/実績例 | ■半導体アプリケーション用UV-LED光源装置 ・マスクアライナー ・ウェーハ ステッパー ・ウェーハエッジ露光 ・フォトマスク検査用光源 ■UV樹脂の硬化 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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ALE/1.1 | |
ALE/1.2 | |
ALE/1.3 | |
ALE/2 |
カタログマルチスペクトルLED光源装置 ALE/2
取扱企業マルチスペクトルLED光源装置 ALE/2
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