真空ポンプとして開発!冷凍機吐出ガスの高温+50℃を利用して瞬時に+25℃のパネルに加熱が可能
『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒
二元式超低温冷凍機です。
一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。
独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の
冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを
瞬時に発揮できます。(コールドトラップによる排気作用)
【特長】
■生産性を30%向上
■高品質の成膜を保証
■高温成膜装置に好適
■液体窒素トラップは不要
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基本情報HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』
【その他の特長】
■高速排気能力に改造
■真空到達時間を50%短縮させる
■残留ガスの水分分子量を60%まで減少させる
■二元式の独立した冷凍サイクルを構成している
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カタログHFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』
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