N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等が対象！精度±1％F.S.のメタルシールマスフローメータ
当社で取り扱う、メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410 SERIES』を
ご紹介します。
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～20SLM、
精度は±1％F.S.となっております。
ご用命の際はお気軽にご相談ください。
【標準仕様（抜粋）】
■センサ方式：熱式巻線センサ
■入口最大圧：500kPa（G）
■許容周囲温度：0～50℃
■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE
■電気接続：D-sub9ピン KFC standard（SEMI standard準拠）
■重量：約800g
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410SERIES』
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログメタルシールマスフローメータ『MODEL 5410SERIES』
取扱企業メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410SERIES』
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コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
面積式流量計、流体制御バルブ、電子式流量計、各種流体制御装置、 窒素・酸素・オゾンガス発生装置、燃料電池評価装置、脱臭装置、水処理装置等の製造販売
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