超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ ALEX-i ケイエルブイ

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラ

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラです。
高感度のCCDと冷却技術により高いSN比を実現しています。
CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。

■超高感度
最大98％の高い量子効率を実現したCCDセンサーで、微弱な信号を測定可能
18bitデジタルによる高いダイナミックレンジを実現し、強い信号と弱い信号を同時に測定可能
-100℃まで冷却するTE冷却システムが、0.00015e-/pixel/sの非常に低い暗電流を実現

■カメラとしての高い性能
最大5MHzのフレームレートで読み出しが可能
GigE と USB3.0の複数インターフェースを搭載
カメラのソフトウェアとSDKを提供

■真空装置での使用に最適
CFフランジのDN63、DN100、 DN160に対応しており、真空装置への取り付けが簡単
カメラの設計と素材への工夫により80度ベークへの耐性があり、UHV(Ultra High Vacuum)で使用が可能

関連リンク - https://www.klv.co.jp/product/euv-xray-camera/alex…

基本情報超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ ALEX-i

■製品モデル
greateyes社のALEXシリーズは、解像度に応じて、
　1k1k
　2k2k
　2k2k plus
　4k4k
の４つのランナップをご用意しています。

また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ
　-前面照射型CCD(FI)
　-背面照射型CCD(BI)
　-フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD)
　-背面照射型CCD[高感度型](BI UV1)
を用途に応じてお選びいただけます。

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型番・ブランド名	Greateyes「ALEX-i」
用途／実績例	EUVリソグラフィー X線トモグラフィーフーリエ変換ホログラフィーＸ線透視撮影法コヒーレント回折イメージングＸ線タイコグラフィ― 斜入射小角X線散乱法(GISAXS)