真空紫外線を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解！ppbオーダーのTOCを低減
半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、超純水中の有機物
(TOC) 濃度に対する要求値も厳しくなっています。
『FOVシリーズ』は高出力低圧水銀ランプから発生する真空紫外線 (185nm)
を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解。ppbオーダーのTOCを低減
させるのに適しています。
また、縦型設計ですので設置スペースが限られた場所でもご使用いただけます。
【仕様（一部）】
■入力電圧：AC100V-AC200V（50/60Hz）から選択可能
■警報出力：ランプ切無電圧接点標準装備
■制御盤材質：SS
■制御盤塗料色：マンセル 2.5Y 9/1
■シリンダ材質：SUS316
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報紫外線酸化装置『FOVシリーズ』
【その他の仕様（一部）】
■シリンダ内面仕上：#400バフ研磨、電解研磨
■シリンダ外面仕上：電解研磨
■最大使用圧力：1.0MPa
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体産業 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ紫外線酸化装置『FOVシリーズ』
取扱企業紫外線酸化装置『FOVシリーズ』
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■各種紫外線殺菌装置 （流水式、液糖用流水式、タンク浸水式、液糖タンク用、表面殺菌、空間殺菌） ■紫外線酸化装置 ■オゾン水分解装置 ■上水用紫外線処理装置 ■表面検査ランプ ■UV式オゾン発生装置 ■各種ブラックライト ■紫外線強度計 ■上記製造および販売
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