BS/JEBG/EBG series 電子銃アズサイエンス | イプロス医薬食品技術

光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)

日本電子株式会社 BS/JEBG/EBG series 電子銃は、光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。

〇特長
・蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。
・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。
※ハースライナーを使用する場合もあります。
・高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可能です。

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基本情報BS/JEBG/EBG series 電子銃

【型式】
BS-60070DEBS、BS-60060DEBS、BS-60050EBS、BS-60040VDGN、BS-60030DGN
EBG-102UB6S、EBG-102UB4S、JEBG-102UH0、BS-60210DEM＋BS-60140H4H
BS-60210DEM＋BS-60150H6H、EBG-203UB6S 、EBG-203UB4H、JEBG-203UA0
JEBG-303UA

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型番・ブランド名	BS/JEBG/EBG series
用途／実績例	【用途】光学薄膜や電極膜などの各種薄膜形成