アズサイエンス株式会社 BS-04 series ロータリーセンサー

最終更新日：2023-07-12 11:43:59.0
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長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

日本電子株式会社水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。
真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。

〇特長
・検出孔が定位置
・晶振動子（クリスタル）が6枚または12枚装着可能

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基本情報BS-04 series ロータリーセンサー

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価格情報	価格に関してはお問い合わせください。
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	BS-04 series
用途／実績例	【用途】真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御